【導(dǎo)讀】隨著碳化硅器件向更高電壓、更大芯片尺寸方向迭代，晶圓材料品質(zhì)與批次一致性，已經(jīng)成為制約器件量產(chǎn)良率與產(chǎn)品性能的核心關(guān)鍵。針對行業(yè)高階制造需求，今日宣布其全新 Premium 高端 200 mm n-型碳化硅（SiC）襯底正式商業(yè)化供貨，進(jìn)一步擴(kuò)展公司 200 mm 碳化硅（SiC）材料產(chǎn)品組合。新品依托升級(jí)的基材工藝，大幅優(yōu)化晶圓缺陷、微管密度與片形穩(wěn)定性，能夠適配高端碳化硅器件的嚴(yán)苛制造標(biāo)準(zhǔn)，幫助廠商提升設(shè)計(jì)成功率、縮短產(chǎn)品認(rèn)證周期，為碳化硅產(chǎn)業(yè)高品質(zhì)規(guī)?；a(chǎn)筑牢材料基礎(chǔ)。
隨著碳化硅（SiC）器件產(chǎn)業(yè)朝著更高電壓和更大裸芯片尺寸推進(jìn)，材料級(jí)質(zhì)量和晶圓一致性已成為關(guān)鍵差異化要素。Wolfspeed 的 Premium 高端 200 mm n-型碳化硅（SiC）襯底在缺陷密度、微管數(shù)量和晶圓片形穩(wěn)定性等多項(xiàng)指標(biāo)上實(shí)現(xiàn)了質(zhì)量飛躍。
通過消除起始基材中的波動(dòng)因素，Wolfspeed 的 Premium 高端材料為碳化硅（SiC）器件制造商提供了一種可預(yù)測更強(qiáng)、良率更高的起始基材，提高了首次設(shè)計(jì)成功的概率，縮短產(chǎn)品認(rèn)證周期，這在當(dāng)前行業(yè)容錯(cuò)空間不斷收窄的背景下尤為重要。
Wolfspeed 材料事業(yè)部執(zhí)行副總裁 Cengiz Balkas 博士表示：“Wolfspeed 在推進(jìn)碳化硅（SiC）材料技術(shù)發(fā)展方面處于領(lǐng)先地位，我們 200 mm 產(chǎn)品組合中的這一最新產(chǎn)品正是我們技術(shù)實(shí)力的體現(xiàn)。我們正在為客戶提供更堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，以開發(fā)要求日益嚴(yán)苛的碳化硅（SiC）器件，并依托我們的制造經(jīng)驗(yàn)和規(guī)模，在客戶需求增長時(shí)提供重要支持?！?/p>
Wolfspeed 的 Premium 高端 200 mm n-型碳化硅（SiC）襯底經(jīng)過行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)方法的 X 射線形貌檢測驗(yàn)證，微管密度低于每平方厘米 0.01 個(gè)，即每片晶圓少于三個(gè)微管，同時(shí)具有較低的貫穿螺型位錯(cuò)密度。結(jié)合 Wolfspeed 久經(jīng)驗(yàn)證的晶圓片形和批次間一致性，更高的裸晶圓質(zhì)量可直接轉(zhuǎn)化為更優(yōu)的外延性能，并且完全可在客戶現(xiàn)有的外延工藝中實(shí)現(xiàn)。
依托成熟的制造工藝和深厚的材料技術(shù)沉淀，Wolfspeed 的 Premium 高端材料可實(shí)現(xiàn)更高的整批次良率和更優(yōu)的制造成本效益。該產(chǎn)品現(xiàn)已開放訂購，并且擁有專屬產(chǎn)能保障和清晰的產(chǎn)品擴(kuò)展路線圖。依托公司現(xiàn)有的大規(guī)模碳化硅（SiC）制造基地，Wolfspeed 具備充足的制造信心與能力，可隨市場需求增長快速擴(kuò)充新產(chǎn)能。
Wolfspeed 的 200 mm 制造運(yùn)營自 2022 年以來持續(xù)投產(chǎn)，歷經(jīng)了四年多的工藝精進(jìn)和良率提升，為客戶建立了成熟、可靠的供應(yīng)基礎(chǔ)。
結(jié)論
本次全新Premium高端200mm碳化硅襯底的落地商用，是Wolfspeed在碳化硅材料領(lǐng)域技術(shù)迭代的重要成果。相較于傳統(tǒng)產(chǎn)品，新品從源頭優(yōu)化基材品質(zhì)，有效降低微管密度與位錯(cuò)缺陷，憑借優(yōu)異的晶圓一致性與穩(wěn)定的片形表現(xiàn)，顯著提升外延工藝效果，可直接適配客戶現(xiàn)有生產(chǎn)流程，無需額外改造產(chǎn)線。
